用于集成電路制造工藝中銅和銅阻擋層的去除和平坦化。產品已在邏輯芯片等上量產使用。持續研發并驗證下一步技術節點用的產品。
用于集成電路制造工藝中鎢的去除和平坦化。產品已在邏輯芯片等上量產使用。持續研發并驗證28nm以下技術節點用的產品。
用于集成電路制造工藝中介電材料如二氧化硅、氮化硅等的去除和平坦化。
基于二氧化鈰磨料的拋光液具有高速去除二氧化硅,高選擇比,高平坦化效率等優點。用于集成電路制造工藝中淺槽隔離和其他需要高速去除二氧化硅的拋光工藝中,并且根據客戶需要開發多種新產品。
用于硅襯底及其他半導體襯底材料的拋光。包括硅粗拋液、硅精拋液、碳化硅拋光液、氮化鎵拋光液等產品系列。
基于化學機械拋光液技術和產品平臺,配合客戶制程需求,研制開發用于新技術新工藝的化學機械拋光液。包括用于三維集成工藝中TSV硅通孔拋光液和混合鍵和拋光液,聚合物和碳等新材料用拋光液。多個產品已量產供應。
1.鋁制程刻蝕后清洗液
2.銅大馬士革工藝刻蝕后清洗液
3.硬掩模銅大馬士革工藝刻蝕后清洗液
1.銅化學機械拋光后的清洗
2.鎢化學機械拋光后的清洗
3.鋁化學機械拋光后的清洗液
4.氮化硅化學機械拋光后的清洗
5.用于新材料化學機械拋光后的清洗
6.拋光墊清洗液
光憑(ping)羥胺現貨(huo)經銷商現貨(huo)出(chu)售安(an)全防護克(ke)服(fu)策劃方案,展(zhan)示 半(ban)水溶性鋁(lv)(lv)鎂(mei)合金品(pin)程刻蝕(shi)后的(de)清潔劑及(ji)胺基鋁(lv)(lv)鎂(mei)合金品(pin)程刻蝕(shi)后的(de)清潔劑。
物品應該用(yong)于模塊化電路設計鋁合金程(cheng)制(zhi)作工(gong)藝(yi)金屬質材料(liao)線、通孔及(ji)金屬質材料(liao)焊盤(pad)蝕(shi)刻(ke)殘(can)余物物取除(chu),供(gong)給優良(liang)的蝕(shi)刻(ke)殘(can)余物物取除(chu)的能(neng)力、低料(liao)工(gong)費。物品已在85屏幕尺(chi)寸及(ji)125屏幕尺(chi)寸邏輯性處理IC芯片、存(cun)貯處理IC芯片等業務領域產量。
軟件于模塊化用電線路銅互連(lian)大馬(ma)士革工藝技術蝕刻剩余(yu)的物(wu)清除。貨品含(han)有非(fei)常好(hao)的的蝕刻剩余(yu)的物(wu)清除實力、低問(wen)題、低直接費(fei)用。
應(ying)運(yun)于結合控制電路硬(ying)掩模(mo)銅互(hu)連(lian)大馬士(shi)革藝蝕刻農藥余(yu)留物(wu)取(qu)(qu)除(chu)(chu)。新(xin)產(chan)(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)展示 高氮化鈦硬(ying)掩模(mo)取(qu)(qu)除(chu)(chu)程(cheng)(cheng)度、出眾的(de)(de)蝕刻農藥余(yu)留物(wu)取(qu)(qu)除(chu)(chu)程(cheng)(cheng)度、低(di)異常現象、低(di)利潤。新(xin)產(chan)(chan)品(pin)(pin)的(de)(de)都已經在28nm道理集成塊量產(chan)(chan)u盤(pan),并在28nm及下面枝術點位不(bu)斷地(di)驗證通(tong)過。
應用于晶圓級封裝、MEMS等超越摩爾領域厚膜光刻膠去除。產品具有>100微米光刻膠去除能力、低成本。產品在8英寸及12英寸晶圓級封裝(金凸點、焊錫凸點、柱狀凸點)、MEMS、TSV等工藝量產。
有效果(guo)清掉銅cnc精密機(ji)械(xie)加工處(chu)理后(hou)外表(biao)皮科(ke)粒和化學工業物余(yu)留(liu),避免銅外表(biao)皮生銹,減少cnc精密機(ji)械(xie)加工處(chu)理后(hou)晶圓外表(biao)皮障礙。商品(pin)可適合(he)于130-28nm的銅制造cnc精密機(ji)械(xie)加工處(chu)理后(hou)擦拭(shi)。
很好(hao)取(qu)除鎢(wu)打(da)磨(mo)增(zeng)加光澤后外(wai)表能粒狀(zhuang)和生物學(xue)物雜(za)質,必(bi)免鎢(wu)外(wai)表能的(de)腐蝕,變低打(da)磨(mo)增(zeng)加光澤后晶圓外(wai)表能缺(que)陷報告。
高效取除(chu)鋁(lv)磨(mo)光(guang)后表明(ming)粉末和化工物殘余的,以免鋁(lv)表明(ming)浸蝕,降底磨(mo)光(guang)后晶圓(yuan)表明(ming)常見(jian)問(wen)題(ti)。
有效果快速清理氮(dan)化硅(gui)打(da)磨后(hou)漆層小粒(li)和電(dian)化學物留下,縮減打(da)磨后(hou)晶(jing)圓漆層的缺陷。
使(shi)用在新產(chan)品打磨后(hou)的洗滌,下降打磨后(hou)晶圓外表缺(que)陷(xian)報告。
有效率祛除拋光(guang)處(chu)(chu)理(li)(li)墊(dian)上的(de)(de)拋光(guang)處(chu)(chu)理(li)(li)副終產(chan)物,延長至拋光(guang)處(chu)(chu)理(li)(li)墊(dian)的(de)(de)選(xuan)用質保期,減(jian)少拋光(guang)處(chu)(chu)理(li)(li)后晶圓表(biao)面上缺陷報告。
基于液體及固體表面處理技術平臺,配合客戶工藝需求,提供特殊工藝刻蝕液,包括高選擇比磷酸等。
基于自主研發及合作,提供集成電路大馬士革工藝及先進封裝領域的電鍍液及添加劑產品系列。
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